Eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off

Publikations­datum

27.06.2024

Meldungs­nummer

1430391

Art

Ausschreibungen Bau

Kanton

Eingabetermin

06.08.2024

Beschreibung

Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off anzuschaffen. Die Bewertung basiert auf Prozessleistung, Robustheit des Werkzeugs, Benutzerfreundlichkeit/Wartung und schnellen Schulungszeiten. Die Leistung wird hinsichtlich erreichbarer Einheitlichkeit, Reproduzierbarkeit und Zeit beurteilt. Allgemeine Anforderungen sind: •Durchführung des Solvent-Lift-Off-Prozesses auf einer 25-Wafer-Kassette (<=150 mm) mit den bekanntesten Methoden unter Verwendung von 4 Bäder (siehe Dokument). •Einfache Bedienung, Verwaltung (Rezeptverwaltung) und Wartung. Geringer Bedarf an Abgas- und Stromleistung sowie Chemikalien pro Durchlauf. •Hochwertiger Support und langfristige Verfügbarkeit von Ersatzteilen.

Kontakt

Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Dr. Philippe Flückiger
Bâtiment BM - Station 17
1015 Lausanne

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