Une paillasse chimique pour le lift-off en lot
Publikationsdatum
27.06.2024
Beschreibung
L’EPFL a l’intention d’acquérir une paillasse chimique pour le lift-off en lot pour son Centre de Micro et Nanotechnologie (CMi).
L’évaluation sera basée sur la qualité des procédés, la robustesse de l’équipement, la facilité d’utilisation/entretien, à sa rapidité d’apprentissage. La performance des procédés sera évaluée en termes d’uniformité, reproductibilité et temps de passage.
Les exigences générales sont :
•Exécution de procédés lift-off selon “best-known methods” avec 4 bains (voir document)
•Facilité d’utilisation, administration (gestion des recettes) et maintenance. Faible demande d’extraction, puissance électrique, chimie par lot.
•Qualité du support technique et disponibilité à long terme des pièces détachées.
Kontakt
Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Dr. Philippe Flückiger
Bâtiment BM - Station 17
1015 Lausanne
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